本公司此次將推出半導(dǎo)體集成電路封測產(chǎn)線快檢專用設(shè)備——YTS 500超聲掃描顯微鏡。該產(chǎn)品的展出,吹響了思為儀器重磅入局半導(dǎo)體封測產(chǎn)業(yè)的號角,也是我們助力“中國芯”的起點。
此產(chǎn)品針對半導(dǎo)體集成電路封測產(chǎn)線線快檢,對塑料分層、粘片空洞、焊接缺陷分析,檢測能力、同步掃描技術(shù)、速度倍增;
系統(tǒng)特性
l 整機尺寸:800mm×600mm×1300mm
l 水槽尺寸:380mm×240mm×110mm
l 掃描范圍:手動:260mm×100mm×50mm; 自動:260mm×25mm×50mm
l 典型掃描耗時:≤45s(測試條件:掃描區(qū)域10mm×10mm,分辨率50um)
l 掃描速度:300mm/s
l 圖像推薦分辨率:1~4000um
l 厚度檢測范圍:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配。
l 定位精度:X/Y≤±1μm,Z≤±10μm
l 重復(fù)定位精度:X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm
客戶裝機現(xiàn)場